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发布时间:2019-12-15 03:23:12
无尘车间是指将一定空间范围内之空气中的微粒子、***空气、***等之污染物排除,洁净车间建设,并将室内之温度、洁净度、室内压力、气流速度与气流分布、噪音振动及照明、静电控制在某一需求范围内,而所给予特别设计的房间。无尘车间室内空气经处理后,所含微粒数少于一定数量要求,一般分十万级、万级、千级等,即室内每立方米空间的微粒数不大于十万、一万、一千个……目前,无尘车间已经在电子、光学、精密仪器、注塑等行业里广泛使用。
无尘车间的洁净度往往受到气流的影响,即人、机器隔间、建筑结构等所产生的尘埃之移动、扩散受到气流的支配。无尘车间所利用过滤器过滤空气,其尘埃的收集率达99.97~99.99995%之多,因此经过此过滤器过滤的空气可说十分干净。然而洁净室内除了人以外,洁净车间安装,尚有机器等之发尘源,这些尘埃一旦扩散便无法保持洁净空间,因此必须利用气流将发生的尘埃迅速排出室外。为了防止再次进入和往返作业对无尘车间造成交叉污染,人员在作业中途和作业宽毕均应按规定的顺序退出无尘车间。
无尘车间生产对于湿度控制是非常重要的条件之一,洁净车间装修,无尘车间、洁净室运作过程中一个常用的环境控制条件是相对湿度。半导体无尘车间、洁净室中的典型的相对湿度的目标值大约控制在30至50%的范围内,允许误差在±1%的狭窄的范围内,例如光刻区或者在远紫外线处理(DUV)区甚至更小而在其他地方则可以放松到±5%的范围内。
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